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辅助服务费用第二步修整则是使用较小入射角度（比如3度-4度）和较低离子束能量在击穿孔边缘修整出用于TEM实验的薄区。另外，需要向用陶瓷材料导热性较低于常见金属，因此可能在减薄过程中造成热量聚集并由热应力诱发裂纹扩展，导致材料破碎。

另外，全部虽然减薄仪腔体内为高真空环境，但残余空气仍有可能在高温环境下与样品反应。

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